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综合馆
应变栅结构参数对合金薄膜传感器 应变传递的影响
  • 摘要

    应变栅作为薄膜传感器的关键组成部分,其结构参数直接影响着合金薄膜传感器中应变传递效果.基于剪滞理论研究了应变栅的结构参数对应变传递误差的影响;并推导了合金薄膜应变片的应变传递函数.采用有限元软件模拟仿真了薄膜电阻应变片应变栅栅厚在0.001~0.02 mm、栅长在2~5 mm以及栅宽在0.1~0.4 mm范围内对应变传递的影响;并对上述分析的结果进行了实验验证.结果表明:在选定的范围内,应变栅厚度越小、纵栅长度越长、纵栅宽度越窄,应变传递误差越小;各结构参数对应变传递的影响程度为:栅宽>栅长>栅厚;当栅厚为0.001 mm、栅长为3 mm、栅宽为0.1 mm时,应变传递误差最小为3.4%.

  • 作者

    王昕宇  武文革  李学瑞  WANG Xin-yu  WU Wen-ge  LI Xue-rui 

  • 作者单位

    中北大学机械工程学院,太原,030051

  • 刊期

    2019年9期 ISTIC PKU

  • 关键词

    薄膜传感器  应变栅结构  应变传递  有限元 

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54.221.145.174