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综合馆
ICP-MS法测定电子级高纯硝酸中的金属杂质
  • 摘要

    用ICP-MS的不同状态(标准状态、冷等离子体技术、碰撞池技术)直接测定电子级高纯硝酸中的34个痕量金属杂质,用铟作内标可补偿基体效应,方法检出限为0.1~70 ng/L,加标回收率为90%~110%,相对标准偏差为4.0%,样品测定结果与ICP-AES测定结果基本一致.

  • 作者

    孟蓉  李红华  黄志齐 

  • 作者单位

    北京化学试剂研究所,

  • 刊期

    2001年6期 ISTIC PKU

  • 关键词

    电子级高纯硝酸  ICP-MS  痕量金属杂质 

参考文献
  • [1] . Book of SEMI International Standards Process Chemical Volume, 1997
  • [2] Koller D;Herry R;Marriott P;Liezers M,Sigsworth P. . VGE/PQ/T/090, 1998
  • [3] Kollen D;Herry. . VGE/PQ/TM/146, 1999,02
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